在功率电子领域,一场技术变革正在发生:在越来越多的应用中,GaN和SiC等第三代宽禁带半导体器件正在逐步替代传统的硅(Si)基器件,扮演越来越重要的角色。在需要较高电压和功率的电动车、白色家电、通信基础设施、可再生能源、数据中心等领域,SiC更是表现出强劲的实力。
SiC器件的性能优势
从下图可以看出,与Si材料相比,SiC有两个突出优势:一是SiC的高禁带宽度(是Si的3倍)带来了更高的击穿电压、温度和功率等级;二是SiC具有更高的热导率,有利于功率器件热性能的提升,以支持更高电流密度的应用。
图1:SiC与Si材料特性比较
(图源:Qorvo)
基于这样的性能优势,用SiC打造的开关器件(如MOSFET)与硅基器件相比,自然也是具有诸多优势:
• SiC击穿电压更高,这意味着可以更轻薄的器件来支持更高的电压。
• SiC器件具有较小的裸片尺寸和较低的寄生电容,以及更低的导通电阻,这可以带来更低的开关损耗,提供更高的效率。
• 在给定的电压和电阻等级,SiC功率器件能够在更高的开关频率下运行,因此允许采用体积更小的外围无源元件,从而减小整个系统的尺寸及成本。
• 得益于出色的热性能,SiC器件能够在更高的环境温度下正常工作,有助于简化散热系统设计。
简而言之,SiC功率器件具有高电压阻断能力、低导通损耗、低开关损耗和高导热性,因此可以为功率电子应用提供更高的效率、更出色的散热性能,以及更高的功率密度,帮助用户突破硅基器件的性能天花板。
也正因为此,众多功率电子行业的“玩家”都在积极探索采用SiC技术替代硅基工艺,开发一系列功率器件,如BJT、JFET、MOSFET和IGBT等。不过,SiC商用器件的开发毕竟是一个全新的课题,想要实现从Si到SiC技术的丝滑升级,还需要做大量的功课。
实现这一技术迭代的关键着力点主要有两个方面:一个是降低成本,包括SiC器件自身的成本,以及应用开发中的配套成本(如栅极驱动器);另一个方面,就是要根据目标应用,充分发挥出SiC的优势特性,开发出差异化的产品,为开发者提供更大的选择空间。
通往SiC技术的新路径 目前,在向SiC技术迈进的过程中,SiC MOSFET是很多厂商的“必选项”,这是因为与Si MOSFET相比,其具有耐压高、导通电阻低、开关频率高等突出优势,且应用范围非常广泛。
不过,如上文所述,SiC MOSFET并不是“从Si向SiC丝滑升级”的唯一选项,Qorvo就选择了从SiC JFET入手,探索出一条与众不同的新路径。
众所周知,JFET是一种常开型晶体管,是利用栅极PN结耗尽层实现开关控制,同时正常状态下单极性导电,与MOSFET相比,此类器件具有良好的高频特性,且由于不需要栅氧层,其可靠性更优,导通电阻也会更小。
但是开发SiC JFET时面临着一个挑战:相较于SiC MOSFET,常开型的SiC JFET在器件阻断时需要施加较大的负向偏置,以使得沟道区域完全夹断,因此无法与现有功率器件(如MOSFET、IGBT等)的驱动电路兼容,这无疑会增加SiC JFET器件应用开发的难度。
为此,Qorvo采用了一种巧妙的方法——基于独特的“共源共栅结构”电路配置,将一个常开型SiC JFET器件与一个硅基MOSFET垂直级联、共同封装,形成一个集成的常关型SiC FET器件,使得器件的驱动可以与硅基MOSFET / IGBT器件兼容,很好的解决了这一SiC技术升级中的关键问题。

图2:Qorvo SiC FET器件结构框图
(图源:Qorvo)
从图3中,我们可以进一步了解Qorvo SiC FET与SiC MOSFET相比的差异化优势。
首先,Qorvo的SiC JFET中没有SiC MOSFET的栅极氧化层,进而消除了沟道电阻,让裸片尺寸更为紧凑,这意味着对于给定的芯片尺寸,Qorvo SiC FET可提供更低的导通电阻(RDS(ON));也就是说,在相同的导通电阻条件下,Qorvo SiC FET所需的SiC裸片尺寸更小,这使得该器件可以采用TOLL和D2PAK等较小的封装形式,进一步强化SiC器件小型化的优势。
此外,Qorvo的SiC FET与SiC MOSFET相比,还具有更低的输出电容,这使得其能够在低负载电流下以更快的开关速度工作,因此电容充电延迟时间更短。由此带来的好处是,减少了对电感器和电容器等较大体积无源元件的需求,使得终端设备能够实现更小的体积、更轻的重量、更低的成本,并获得更高的功率密度。

图3:SiC MOSFET与Qorvo SiC FET的比较
(图源:Qorvo)
总结一下,Qorvo SiC FET既具有SiC的性能优势,又通过独特的“Si MOSFET + SiC JFET”的垂直级联架构,构成了一款更“高能”的器件。这样的器件,对于功率应用的价值体现在:
• 可采用标准硅栅极驱动器,这使得从Si到SiC的技术过渡更加顺畅,也为工程师提供了更大的设计灵活性。
• 相同芯片面积下,具有更低的漏-源导通电阻 RDS(ON),可进一步提升系统效率。
• 更低的电容允许更快的开关速度、更高的工作频率,减小了对大体积无源元件的需求。
• 可提供更高电压等级 (1,200V或更高),而与同级别硅基IGBT相比又具有更高的工作频率。
丰富的SiC FET产品组合 UF3C系列是Qorvo高性能SiC FET中的代表产品,具有超低栅极电荷,非常适合开关感性负载和需要标准栅极驱动的应用。由于可以兼容标准栅极驱动器,因此UF3C系列SiC FET可真正实现对硅基IGBT、FET、MOSFET或超结器件的“丝滑平替”。
该系列SiC FET提供650V、1,200V和1,700V多种耐压版本,以及D2PAK-3、D2PAK-7、D2PAK-7L、TO-247-3L、TO-247-4L和TO-220-3L等封装选项,可广泛应用于电动汽车充电、光伏逆变器、开关模式电源、功率因数校正模块、电机驱动器和感应加热等功率电子系统。

图4:UF3C高性能SiC FET
(图源:Qorvo)
值得一提的是,Qorvo不断发展这种共源共栅结构SiC FET的产品组合,既包括采用平面工艺的第3代产品(如UF3C),还包括性能更为出色的基于沟槽工艺的第4代产品。同时,Qorvo还提供丰富的产品系列,以满足不同应用场景所需:
UJ系列 开关速度较慢,非常适合替代现有的非开尔文封装设计,如TO247-3L、D2PAK3L等。
UF系列 具有更快的开关速度,适用于高开关频率、高效率和高功率密度应用。
UG系列 有两个栅极引脚,分别用于SiC JFET和Si MOSFET。SiC JFET栅极引脚可实现非常宽的开关速度可控性。其目标应用是具有非常高的电流和相对较慢的dv/dt(<20V/ns)的场景,如电路保护等。
C/SC系列 即并排共源共栅或堆叠共源共栅——字母“C”表示共源共栅结构并排封装了Si低压MOSFET和SiC高压JFET;字母“SC”表示共源共栅结构在SiC高压JFET芯片的顶部连接了一个Si低压MOSFET芯片,因此称为堆叠芯片。
E1B模块 采用行业标准模块封装,与许多供应商产品引脚兼容,适合于ZVS软开关应用,如相移全桥、LLC等。
本文小结 在功率半导体领域,从Si向SiC技术过渡已经是大势所趋,对此大家已经形成了共识。不过,如何让这个过程更“丝滑”,以尽可能少的成本从SiC身上获得尽可能大的收益——对于这个问题,不同的厂商则有自己不同的高招儿。
对此,Qorvo给出的解决方案非常独特而巧妙,通过Si MOSFET + SiC JFET的共源共栅的架构,弥补了SiC MOSFET的性能短板,并与标准的硅基器件的栅极驱动器兼容,能够有效加速SiC器件设计导入的进程。
从Si到SiC,该如何丝滑升级?你想要的答案就在这里——
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